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T/JSQA 127-2022 光刻机用超高压短弧曝光光源

T/JSQA 127-2022 Scanning exposure using ultra-high-pressure short-arc exposure light source

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/JSQA 127-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
K 电工
国际标准分类号（ICS）
29.140.30 荧光灯、放电灯
发布日期
2022-03-03
实施日期
2022-03-03
发布单位/组织
-
归口单位
江苏省质量协会
适用范围
范围:本文件规定了光刻机用超高压短弧曝光光源的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于光刻机用超高压短弧曝光光源，其他相应类型的超高压短弧曝光光源也可参照执行; 主要技术内容:分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名；技术要求：外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能

发布历史

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研制信息

起草单位：
常州玉宇电光器件有限公司、常州检验检测标准认证研究院、深圳市合丰嘉大科技有限公司、杭州汉光照明有限公司
起草人：
徐琴玉、殷尧平、李臻、陈海东、吴永强、杨宇华、李鑫、王燕
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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