YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法

YS/T 1059-2015 Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

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基本信息

标准号

YS/T 1059-2015

标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）

77.040.30 金属材料化学分析

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.000 05%～0.005%。

发布历史

2015年04月

YS/T 1059-2015　硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法

当前标准现行 2015-04-30

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司

起草人：: 刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅

出版信息：: 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS77.040.30

H17

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST10592015

硅外延用三氯氢硅中总碳的测定

气相色谱法

Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeitax—

Gaschromatorahicmethod

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST10592015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC243

:、

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