YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1059-2015 Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：7页
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格式：PDF
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.000 05%～0.005%。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.000 05%～0.005%。
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司
- 起草人：
- 刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST10592015
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定
气相色谱法
Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeitax—
qy
Gaschromatorahicmethod
gp
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST10592015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC243
:、
定制服务
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