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YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

YS/T 1059-2015 Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：7页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1059-2015
相关服务
购买纸质版 商用授权
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30 金属材料化学分析
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.000 05%～0.005%。

发布历史

文前页预览

YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法-第1页
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法-第2页
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法-第3页

研制信息

起草单位：
中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司
起草人：
刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅
出版信息：
页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.040.30

H17

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST10592015

硅外延用三氯氢硅中总碳的测定

气相色谱法

Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeitax—

qy

Gaschromatorahicmethod

gp

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST10592015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC243

:、

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