T/QGCML 4513-2024 高性能晶圆(晶锭)生产技术要求
T/QGCML 4513-2024 High-performance Wafer (Slice) Production Technology Requirements
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4513-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-07-26
实施日期
2024-08-10
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了高性能晶圆(晶锭)生产技术要求的术语和定义、生产流程、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高性能晶圆(晶锭)的生产和检验
发布历史
-
2024年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 苏州璋驰光电科技有限公司、上海璋驰光电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、济南智和弘盛光电科技有限公司
- 起草人：
- 冯英俊、丁志宏、彭江龙、李鹏鹏、秦天宇、刘伟秀、冯涛、赵全勇
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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