YS/T 1825-2025 集成电路用四甲基硅烷
YS/T 1825-2025 Silane, tetramethyl for integrated circuits
行业标准-有色金属
简体中文
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1825-2025
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
即将实施
发布日期
2025-12-17
实施日期
2026-07-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件规定了四甲基硅烷的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于集成电路行业制造中使用的四甲基硅烷。
发布历史
-
2025年12月
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研制信息
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内容描述
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