GB/T 31469-2015 半导体材料切削液
GB/T 31469-2015 Semiconductor materials cutting fluid
国家标准
中文简体
现行
页数:6页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 31469-2015
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
发布历史
-
2015年05月
研制信息
- 起草单位:
- 扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院
- 起草人:
- 缪德俊、徐蓉艳、缪立山、彭新玲、丁浩、郭倩、蒲学军、王香
- 出版信息:
- 页数:6页 | 字数:8 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS31-030
L90
中华人民共和国国家标准
/—
GBT314692015
半导体材料切削液
Semiconductormaterialscuttinfluid
g
2015-05-15发布2016-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT314692015
目次
前言…………………………Ⅰ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3技术要求…………………1
4试验方法…………………2
5检验规则…………………2
、、…………………
6标志包装储存及运输3
/—
定制服务
推荐标准
- GB/T 29284-2024 聚乳酸 2024-04-25
- GB/T 2820.9-2024 往复式内燃机驱动的交流发电机组 第9部分:机械振动的测量和评价 2024-04-25
- GB/T 28884-2024 大容积气瓶用无缝钢管 2024-04-25
- GB/T 26600-2024 显微镜 光学显微术用浸液 2024-04-25
- GB/T 2910.11-2024 纺织品 定量化学分析 第11部分:某些纤维素纤维与某些其他纤维的混合物(硫酸法) 2024-04-25
- GB/T 28629-2024 水泥熟料中游离二氧化硅化学分析方法 2024-04-25
- GB/T 2900.17-2024 电工术语 量度继电器和保护设备 2024-04-25
- GB/T 26527-2024 有机硅消泡剂 2024-04-25
- GB/T 27692-2024 高炉用铁球团矿 2024-04-25
- GB/T 28780-2024 机械安全 机器用整体照明系统 2024-04-25