T/TMAC 336-2026 离子注入设备用陶瓷静电卡盘
T/TMAC 336-2026 Ion-implantation equipment ceramic electrostatic chuck
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/TMAC 336-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-01-30
实施日期
2026-01-30
发布单位/组织
-
归口单位
中国技术市场协会
适用范围
本文件适用于离子注入设备用陶瓷静电卡盘的生产制造。
本文件规定了离子注入设备用陶瓷静电卡盘的一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存
发布历史
-
2026年01月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第十二研究所、厦门钜瓷科技有限公司、广东精瓷新材料有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
- 起草人：
- 赵世柯、鲁慧峰、陈闻杰、范永民、何庆、陈关亮、王月隆
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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