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T/ICMTIA ESG0014-2022 集成电路用混合气体 30%氧/氦

T/ICMTIA ESG0014-2022 Mixed gas for integrated circuits, 30% oxygen/helium

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA ESG0014-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-04-08
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气30%氧/氦的技术要求、试验方法、抽样、判定和复验、标志、包装、运输及储存的要求。本文件适用于集成电路用混合气30%氧/氦，其它组分比例的氧氦混合气可以参考执行

发布历史

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研制信息

起草单位：
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所
起草人：
倪珊珊、郑秋艳、殷越玲、张净普、李帅楠、滕莹、袁瑞玲、苏子杰
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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