T/ICMTIA ESG0014-2022 集成电路用混合气体 30%氧/氦
T/ICMTIA ESG0014-2022 Mixed gas for integrated circuits, 30% oxygen/helium
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0014-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-04-08
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气30%氧/氦的技术要求、试验方法、抽样、判定和复验、标志、包装、运输及储存的要求。本文件适用于集成电路用混合气30%氧/氦，其它组分比例的氧氦混合气可以参考执行
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所
- 起草人：
- 倪珊珊、郑秋艳、殷越玲、张净普、李帅楠、滕莹、袁瑞玲、苏子杰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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