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T/NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅

T/NXCL 015-2022 Polycrystalline silicon for silicon components

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/NXCL 015-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2022-12-02
实施日期
2022-12-02
发布单位/组织
-
归口单位
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、原料、化学成分、物理性能、晶粒形态和夹杂物。试验方法包括化学成分分析方法、物理性能检验方法以及晶粒形态和夹杂物的检测方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定

发布历史

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研制信息

起草单位：
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院
起草人：
李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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