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T/ICMTIA ESG0022-2022 电子工业混合气体的制备 称量法

T/ICMTIA ESG0022-2022 Electronic industry preparation of mixed gas by weighing method

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA ESG0022-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用称量法制备瓶装电子工业混合气体的方法.描述了制备原理、规定了制备的策划、制备和检验过程。本文件适用于瓶装电子工业混合气体的单瓶制备和批量制备

发布历史

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研制信息

起草单位：
大连大特气体有限公司、博纯材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开 发有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
起草人：
李福芬、依俊廷、王昭彬、龚施健、王雷、施旖旎、李庆东、柳彤、张净普
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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