T/ICMTIA ESG0022-2022 电子工业混合气体的制备 称量法
T/ICMTIA ESG0022-2022 Electronic industry preparation of mixed gas by weighing method
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0022-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用称量法制备瓶装电子工业混合气体的方法.描述了制备原理、规定了制备的策划、制备和检验过程。本文件适用于瓶装电子工业混合气体的单瓶制备和批量制备
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 大连大特气体有限公司、博纯材料股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开 发有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司
- 起草人：
- 李福芬、依俊廷、王昭彬、龚施健、王雷、施旖旎、李庆东、柳彤、张净普
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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