SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11498-2015 The secondary ion mass spectrometry measurement method for oxygen concentration in heavily doped silicon substrate
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11498-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
- 起草人：
- 何友琴、马农农、何秀坤 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DL/T 503-2009 电力工程项目分类代码 2009-07-01
- MH/T 7019-2013 民用航空人员体检鉴定场所和设施设备配备规范 2013-09-27
- JB/T 11918-2014 气力式牧草免耕播种机 2014-05-12
- YD/T 1948.7-2013 传送网承载以太网（EoT）技术要求 第7部分：以太网管理功能要求 2013-10-17
- JB/T 7474.4-2014 自动照相机技术条件 第4部分：自动调焦 2014-05-12
- JB/T 8547-2010 液力传动用合金铸铁密封环 2010-02-21
- GY/T 271-2013 AVS+高清编码器技术要求和测量方法 2013-10-28
- YD/T 2568.2-2013 LTE数字蜂窝移动通信网 X2接口技术要求（第一阶段） 第2部分：层一 2013-07-22
- JC/T 2274-2014 建筑用薄膜光伏中空玻璃一致性评定要求 2014-10-14
- JC/T 2269-2014 膨润土干燥剂 2014-10-14