SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11498-2015 The secondary ion mass spectrometry measurement method for oxygen concentration in heavily doped silicon substrate
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：6页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11498-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
- 起草人：
- 何友琴、马农农、何秀坤 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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