GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
GB/T 31986-2015 Gas for electronic industry—Perfluoropropane
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 31986-2015
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2015-09-11
实施日期
2016-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式：C3F8。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。
发布历史
-
2015年09月
-
2026年04月
研制信息
- 起草单位：
- 国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人：
- 林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB15/T 2933-2023 土壤水分数据使用规则和应用规范 2023-03-28
- DB15/T 2937-2023 棉花精量播种技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2934-2023 西部干旱区棉花痕量灌溉技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2935-2023 西部干旱区棉花无膜丰产高效栽培技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2942-2023 塞外红苹果贮运保鲜技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2938-2023 废旧地膜回收与资源化利用技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2944-2023 土默特灌区籽粒机械直收春玉米品种生态适应性评价规范 2023-03-28
- DB15/T 2940-2023 苦荞机械化高产栽培技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2936-2023 棉田杂草综合防控技术规程 2023-03-28
- DB15/T 2943-2023 土默川平原耐密宜机收玉米品种机械化栽培技术规程 2023-03-28