SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
SJ/T 11504-2015 The testing method for surface quality of silicon carbide single crystal polishing wafers
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：5页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11504-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、周智慧、蔺娴 等
- 出版信息：
- 页数：5页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB13/T 2426-2016 油葵-饲用谷子复种栽培技术规程 2016-09-30
- DB13/T 2425-2016 饲用高粱种植技术规程 2016-09-30
- DB13/T 2419-2016 脱毒马铃薯容器薯生产技术规程 2016-09-30
- DB13/T 2423-2016 日光温室越冬茬番茄栽培技术参数智能化控制规程 2016-09-30
- DB44/T 1869-2016 电子积木 2015-09-08
- DB13/T 2422-2016 高山杜鹃工厂化育苗技术规程 2016-09-30
- DB13/T 2420-2016 地理标志产品 青县羊角脆 2016-09-30
- DB13/T 2424-2016 早熟棉花与饲草小黑麦复种栽培技术规程 2016-09-30
- DB13/T 2421-2016 地理标志产品 黄旗小米 2016-09-30
- DB13/T 2418-2016 金莲花种子质量标准 2016-09-30