1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/IAWBS 021-2024

T/IAWBS 021-2024 碳化硅晶片边缘轮廓检验方法

T/IAWBS 021-2024 Checking method for edge profile of silicon carbide wafers

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/IAWBS 021-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80/84 半金属与半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2024-04-01
实施日期
2024-04-09
发布单位/组织
-
归口单位
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
适用范围
范围:本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。 本文件适用于检验倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行; 主要技术内容:本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。本文件适用于检验倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、山东有研半导体材料有限公司
起草人：
佘宗静、彭同华、王大军、刘祎晨、王波、赵宁、张平、杨建、郑红军、蔡丽艳
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>