T/CASME 581-2023 半导体用硅环技术要求
T/CASME 581-2023 Technical requirements for silicon ring used in semiconductors
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 581-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-07-28
实施日期
2023-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于8in～12in干法蚀刻28 nm以下（含28 nm）制程工艺;
主要技术内容:本文件规定了半导体用硅环的术语和定义、生产加工、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、贮存和运输方面的内容
发布历史
-
2023年07月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 杭州睿昇半导体科技有限公司、杭州茂箐科技有限公司、温州静雅新材料技术有限公司
- 起草人：
- 丁鼎、陈燕、祝郑庆、董久琪
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 6960.3-2007 拖拉机术语 第3部分：制动系 2007-03-21
- GB/T 20915.1-2007 冲模 弹性体压缩弹簧 第1部分：通用规格 2007-03-21
- GB/T 20864-2007 水稻插秧机 技术条件 2007-03-21
- GB/T 6960.2-2007 拖拉机术语 第2部分：传动系 2007-03-21
- GB/T 20863.3-2007 起重机械 分级 第3部分：塔式起重机 2007-03-21
- GB/T 6960.4-2007 拖拉机术语 第4部分：行走系 2007-03-21
- GB/T 20863.4-2007 起重机械 分级 第4部分：臂架起重机 2007-03-21
- GB/T 20863.2-2007 起重机械 分级 第2部分：流动式起重机 2007-03-21
- GB/T 20863.5-2007 起重机械 分级 第5部分：式和门式起重机 2007-03-21
- GB/T 20865-2007 免耕施肥播种机 2007-03-21