T/CASME 581-2023 半导体用硅环技术要求
T/CASME 581-2023 Technical requirements for silicon ring used in semiconductors
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 581-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-07-28
实施日期
2023-08-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于8in～12in干法蚀刻28 nm以下（含28 nm）制程工艺;
主要技术内容:本文件规定了半导体用硅环的术语和定义、生产加工、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、贮存和运输方面的内容
发布历史
-
2023年07月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 杭州睿昇半导体科技有限公司、杭州茂箐科技有限公司、温州静雅新材料技术有限公司
- 起草人：
- 丁鼎、陈燕、祝郑庆、董久琪
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 1749-2025 厚漆、腻子稠度测定法 2025-08-01
- GB/T 46020.2-2025 塑料 可回收再生设计指南 第2部分：高密度聚乙烯(PE-HD)材料 2025-08-01
- GB/T 21840-2025 硫化促进剂 N-叔丁基-1，3-苯并噻唑-2-次磺酰胺(TBBS) 2025-08-01
- GB/T 15171-2025 包装件密封性能试验方法 2025-08-01
- GB/T 33824-2025 新能源动力电池壳及盖用铝及铝合金板、带材 2025-08-01
- GB/T 18731-2025 干线公路定位规则 2025-08-01
- GB/T 4300-2025 船舶与海洋技术 船用陀螺罗经 2025-08-01
- GB/T 21309-2025 粮油检验 涂渍油脂或石蜡大米检验 2025-08-01
- GB/T 9943-2025 高速工具钢 2025-08-01
- GB/T 29992-2025 日用压力锅橡胶密封圈 2025-08-01