T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范

范围:本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准; 主要技术内容:1  范围1.1  主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2  适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。2  规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GJB 7363-2011 空间等离子体环境效应动态试验方法JJF 1001-2011通用计量术语及定义3  术语定义3.1  微波ECR等离子体发生器 microwave ECR plasma generator微波ECR等离子体发生器是一种在真空环境下，利用电子回旋共振与微波耦合，从而产生稳定的等离子体的一种气体电离装置。3.2  等离子体电子密度 plasma electron density单位体积内的等离子体的电子数量，用于表征气体被电离成等离子体的程度，单位为个每立方米（/m3）。3.3  等离子体电子温度 plasma electron temperature当等离子体处于热平衡状态时，用于表征等离子体中电子平均动能的大小，单位为电子伏特（eV）。3.4  径向比 radial direction ratio真空腔室内产生的均匀等离子体区域，沿径向方向与等离子体发生器半径的比值大小。4  概述4.1  用途微波ECR等离子体发生器是一种用于电离气体产生稳定等离子体的一种设备，可用于模拟空间电离层低密度等离子体环境微波ECR等离子体发生器产生推力。4.2  原理及结构将频率为2.45 GHz的微波经石英玻璃窗注入到等离子体谐振腔（等离子体放电腔）内，放电腔内气体中的自由电子在微波电磁场的加速下撞击气体分子，使其电离产生新的电子，这些电子也加入到与气体分子的碰撞电离中，如此循环往复最终发生雪崩放电。当放电腔的电离与复合达到动态平衡后将会在放电腔内产生密度稳定的等离子体，等离子体按照双极扩散的规律充满真空腔室，