JJF 1916-2021 扫描电子显微镜校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1916—2021

扫描电子显微镜校准规范

CalibrationSpecificationforScanningElectronicMicroscopes(SEM)

2021-07-28发布2022-01-28实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1916—2021

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和定义

3……………(1)

标准样板

3.1……………(1)

概述

4……………………(1)

计量特性

5………………(1)

校准条件

6………………(2)

环境条件

6.1……………(2)

校准用标准器

6.2………………………(2)

校准项目和校准方法

7…………………(2)

测长示值误差

7.1………………………(2)

正交畸变

7.2……………(3)

线性失真度

7.3…………(3)

校准结果表达

8…………(4)

复校时间间隔

9…………(4)

附录扫描电子显微镜测长示值误差的不确定度评定示例

A………(5)

附录比例尺校准值

B…………………(7)

附录校准证书内容及内页格式

C……………………(8)

Ⅰ

JJF1916—2021

引言

国家计量校准规范编写规则通用计量术语及定义和

JJF1071《》、JJF1001《》

测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范制修订工作的基础性系列

JJF1059.1《》

规范

。

本规范是对扫描电子显微镜试行的修订修订过程中参照

JJG550—1988《()》。

了纳米级长度的扫描电镜测量方法通则和

GB/T20307—2006《》GB/T27788—2011

微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则与相比除编辑性修

《》。JJG550—1988,

改外主要技术变化如下

,:

增加了扫描电镜测长示值误差的校准

———;

增加了Y方向的测长示值误差校准

———;

删除了真空度的测量

———;

删除了射线泄漏量的测量

———X;

增加了附录比例尺校准值

———B“”。

本规范的历次版本发布情况为

:

———JJG550—1988。

Ⅱ

JJF1916—2021

扫描电子显微镜校准规范

1范围

本规范适用于扫描电子显微镜的校准

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

国家计量校准规范编写规则

JJF1071—2010

纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T20307—2006

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本规范

。

标准样板

3.1referenceartifact

具有多个等间距栅格的样板其栅格间距经过国家法定计量检定机构校准间距值

,,

溯源到国家基准

。

4概述

扫描电子显微镜以下简称电镜利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描电

(“”),

子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号由此获得表面形貌图像可以达

,,

到纳米级的分辨力其结构示意见图

。1。

图扫描电子显微镜结构示意图

1

电子枪聚焦透镜扫描线圈信号探测器样品样品室真空系统

1—;2—;3—;4—;5—;6—;7—

5计量特性

电镜计量特性见表性能指标供校准时参考

1,。

1

JJF1916—2021

表1电镜的计量特性

计量性能性能指标