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T/NXCL 004-2021 旋转硅靶材

T/NXCL 004-2021 Rotating Silicon Target Material

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/NXCL 004-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H90/99 冶金机械设备
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2021-11-11
实施日期
2021-11-11
发布单位/组织
-
归口单位
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、内部缺陷、旋转硅靶晶型、搭接率、表面质量和衬管材料。试验方法包括化学成分仲裁分析方法、物理性能检验方法以及物理规格、外观质量、内部缺陷、晶体形态、晶粒大小、搭接率、圆度和同轴度的测量方法。检验规则包括检查和验收、组批、检验项目、仲裁取样和制样、检验结果的判定

发布历史

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研制信息

起草单位：
北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
起草人：
盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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