GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
GB/T 21287-2021 Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 21287-2021
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
发布历史
-
2007年12月
-
2021年10月
研制信息
- 起草单位：
- 昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
- 起草人：
- 王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：25 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT212872021
代替/—
GBT212872007
电子特气三氟化氮
—
ElectronicsecialtasNitroentrifluoride
pygg
2021-10-11发布2022-05-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT212872021
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《》,/—,
本文件代替电子工业用气体三氟化氮与相比除结
GBT212872007GBT212872007
,:
构调整和编辑性改动外主要技术变化如下
———(,);
更改了三氟化氮应符合的技术要求见第章年版的第章
420073
———、(,);
更改了抽样判定和复验的要求见5.12007年版的4.1
———(,);
更改了采样的要求见5.22007年版的4.1.6
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