GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件

中华人民共和国国家标准

GB/T15862一1995

离子注人机通用技术条件

Genericspecificationforionim川antationequipment

1主胭内容与适用范围

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。

本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

2引用标准

GB191包装储运图杀标志

GBn193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件

GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假定下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案

GB6388运输包装收发货标志

SJ142电子工业专用设备总技术要求

SJ1276金属镀层和化学处理层质量检验技术要求

SJ2573涂料涂覆通用技术条件

3术语

3.1束能量beamenergy

到达靶上离子所具有的动能，单位为电子伏特(e（V),

靶束流beamcurrentontarget

单位时间内靶上接收到的离子束电荷量，单位为安培A（),

均匀性uniformity

表征注入离子剂量不均匀的程度。用相对标准偏差表示。

重复性repeatability

表征片间或（批间）在相同条件下注入离子剂量不重复的程度。用相对标准偏差表示。

真空度vacuum

不引束条件下，离子注入机真空室所能达到的最低压强。

产品分类

4.1离子注入机按能量高低分为：

a．低能离子注入机；

b．中能离子注入机；

c.高能离子注入机，

d．兆伏离子注入机。

4.2离子注入机按束流大小分为：

国家技术监督局1995一12一22批准1996一08一01实施

Gs/T15862一1995

么小束流离子注入机；

阮中束流离子注入机；

仁强流离子注入机；

d．超强流离子注入机。

技术要求

5.1工作条件

a．气压：86^106kPa;

b．环境温度：15-281C；

c．相对湿度：<60%；

d．具有空调的净化间，洁净度由具体产品标准规定；

e．供电电压：三相四线制，交流电压380V士100o,220V士100o;

频率：50Hz士1000；

波形：正弦波。

5.2一般要求

离子注入机的控制方式、主要装置、任选件、备件，应在具体产品标准和说明书中明确规定和说明。

5.3外观要求

5.3.1离子注入机的外观应符合SJ142的要求。

5.3.2油漆涂覆的零部件，其漆层应符合SJ2573的要求。

5.3.3电镀及化学涂覆的零部件，镀涂层质量应符合SJ1276的规定。

5.3.4面板上的文字符号和标志应清楚准确。

5.4安全要求

5.4.，离子注入机应有良好的射线防护设施，机器外表面的射线剂量应小于0.25mR/he

5.4.2在离子源送气管路，气源瓶柜，真空排气部分等机柜上方要设有标准尺寸的排风口，以便与用户

厂房内的排气设施相连接。

5.4.3高压区应隔离，进入高压区的门上应有安全联锁装置和放电装置。

5.4.4机器应有保障人身安全和设备安全的高压放电、过载、短路、停电、停水、停气等故障的防护装置

和报警装置。

5.4.5离子注入机的三相电源入线口与机壳之间应耐1500V的交流电压1min不被击穿和不产生

放电，其漏电流不大于1.0mA,

5.4.6机柜要有明显的接地标志，应有不大于40的接地装置。

5.5主要性能要求

5.5.1束能量

束能量范围应按表1规定的范围在具体产品标准中给出。

表1keV

类别能量范围

低能离子注入机<100

中能离子注入机100^-300

高能离子注入机>300-1000

兆伏离子注入机>1000

GB/T15862一1995

5.5.2靶束流

靶束流大小按表2规定的范围在具体产品标准中给出。束流稳定性应不大于1o％/h,

表2

类别束流范围

小束流离子注入机10-100AIA

中束流离子注入机>1002000衅

强流离子注入机>2^--30mA

超强流离子注入机>30mA

5.5.3注入元素

注入元素的种类和质量应在具体产品标准中给出。

5.5.4均匀性

在产品标准中应给出均匀性指标，其指标等级应符合表3的规定。

表3

等级1