T/SHDSGY 135-2023 新能源半导体硅片材料技术
T/SHDSGY 135-2023 New energy semiconductor silicon material technology
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/SHDSGY 135-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-05-30
实施日期
2023-05-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了术语和定义、硅片技术要求、半导体硅片制作流程、试验方法、检验规格标志、包装、运输、贮存和质量证明书。本文件适用于新能源半导体硅片材料技术
发布历史
-
2022年11月
-
2023年05月
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研制信息
- 起草单位:
- 上海得厚孚新材料科技有限公司、上海米宝宝保洁服务有限公司、上海崮化市政工程有限公司、上海爱荻斯电子信息技术有限公司
- 起草人:
- 张才林、庄明珍、张亮、庄雪娇
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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