T/SHDSGY 135-2023 新能源半导体硅片材料技术
T/SHDSGY 135-2023 New energy semiconductor silicon material technology
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/SHDSGY 135-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-05-30
实施日期
2023-05-30
发布单位/组织
-
归口单位
上海都市型工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了术语和定义、硅片技术要求、半导体硅片制作流程、试验方法、检验规格标志、包装、运输、贮存和质量证明书。本文件适用于新能源半导体硅片材料技术
发布历史
-
2022年11月
-
2023年05月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位:
- 上海得厚孚新材料科技有限公司、上海米宝宝保洁服务有限公司、上海崮化市政工程有限公司、上海爱荻斯电子信息技术有限公司
- 起草人:
- 张才林、庄明珍、张亮、庄雪娇
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 16063-1995 车间空气中甲醇的热解吸气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16059-1995 车间空气中丙酮的溶剂解吸气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16062-1995 车间空气中甲醇的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16067-1995 车间空气中乙酸乙酯的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16058-1995 车间空气中丙酮的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16064-1995 车间空气中丙醇的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16065-1995 车间空气中丁醇的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16066-1995 车间空气中乙酸甲酯的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16060-1995 车间空气中丁酮的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23
- GB/T 16068-1995 车间空气中乙酸丙酯的直接进样气相色谱测定方法 1996-01-23