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GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

GB/T 5252-2020 Test method for dislocation density of monocrystal germanium

国家标准 中文简体 现行 页数：9页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 5252-2020
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040 金属材料试验
发布日期
2020-06-02
实施日期
2021-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
本标准适用于{111}、{100}和{113}面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0 cm-2~100 000 cm-2。

发布历史

文前页预览

GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法-第1页
GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法-第2页
GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法-第3页

研制信息

起草单位：
有研光电新材料有限责任公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、广东先导稀材股份有限公司、中锗科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司
起草人：
张路、冯德伸、马会超、普世坤、姚康、刘新军、郭荣贵、向清华、韦圣林、黄洪伟文
出版信息：
页数：9页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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