GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
GB/T 20175-2006 Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered system as reference materials
国家标准
中文简体
现行
页数：18页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 20175-2006
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2006-03-27
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束标准化技术委员会
适用范围
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。
特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。
发布历史
-
2006年03月
-
2025年06月
研制信息
- 起草单位：
- 清华大学电子工程系
- 起草人：
- 查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
- 出版信息：
- 页数：18页 | 字数：30 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CSTM 00464-2022 晶体硅光伏组件室内热斑耐久性测试 2022-05-09
- T/CNSCPA 016-2023 进口核安全1E级电力电缆安全检验文件审查指南 2023-11-02
- T/CEC 5040-2021 微能源网接入设计规范 2021-04-23
- T/CIDA 0001-2018 一体化智能泵站技术规范 2018-03-27
- T/CECPA 001-2020 核电厂配置风险管理技术要求 2020-11-01
- T/SZSA 021-2019 小型离网式家用光伏发电系统技术规范 2019-01-05
- T/GDBX 009-2019 非贵金属催化型柴油机排气颗粒物过滤器 2019-05-01
- T/CEC 151-2018 并网型交直流混合微电网运行与控制技术规范 2018-01-24
- T/GERS 0008.2-2021 重点耗能行业用能单位能效对标指南 第2部分：石化 2021-12-27
- T/CICEIA /CAMS7-2019 绿色产品设计评价技术规范 柴油发动机 2019-02-01