GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T18867—2025

代替GB/T18867—2014

电子气体六氟化硫

Electronicgas—Sulphurhexaflouride

2025-04-25发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T18867—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体六氟化硫与相比除结

GB/T18867—2014《》,GB/T18867—2014,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

———(1,20141);

更改了六氟化硫应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20143);

更改了采样的要求见第章年版的

———(5,20144.1.3、4.1.5);

更改了纯度计算方法见年版的

———(6.1,20144.2);

更改了氧氩氮四氟化碳一氧化碳二氧化碳甲烷含量的测定方法见年版的

———+、、、、、(6.2,2014

4.3);

增加了氢六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法见

———、(6.2);

增加了尾气处理的要求见

———(6.6);

更改了检验规则见第章年版的

———(7,20144.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见年版的

———、、(8.1、8.2,20145.1);

更改了安全信息的内容见年版的

———(8.3,20145.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司福建德尔科技股份有限公司浙江省化工研究院有限公司

:、、、

福建永晶科技股份有限公司上海上芃电气有限公司北京普瑞分析仪器有限公司南大光电淄博有

、、、()

限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司广东华特气体股份有限公司福建恒申电子材料科技

、()、、

有限公司昊华气体有限公司西南分公司中昊光明化工研究设计院有限公司大连大特气体有限公司

、、、、

上海华爱色谱分析技术有限公司联雄投资上海有限公司杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中复

、()、、

科金压力容器有限公司宿州伊维特新材料有限公司北京睿信捷环保科技有限公司广东电网有限责

、、、

任公司电力科学研究院国网山东省电力公司电力科学研究院深圳供电局有限公司国网湖南省电力

、、、

有限公司电力科学研究院上海凡伟仪器设备有限公司西南化工研究设计院有限公司

、、。

本文件主要起草人陈兴龙汤月贞陈施华林德荣史婉君钟卉菲刘春花李文陈凯史兰

:、、、、、、、、、、

黄秀荣张艳志张露露陈艳珊吕磊谢世鹏郭琼孙福楠依俊廷杜雨桐方华黄辉杨金山

、、、、、、、、、、、、、

鲍光强王大为李明谈益强尹乐乐赵洁唐念李丽齐国栋唐峰吴俊杰何波唐中伟赖晓峰

、、、、、、、、、、、、、、

周鹏云唐霞梅

、。

本文件于年首次发布年第一次修订本次为第二次修订

2002,2014,。

Ⅰ

GB/T18867—2025

电子气体六氟化硫

1范围

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存描述了相应的

、、、、、、,

试验方法提供了六氟化硫的安全信息

,。

本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

工业六氟化硫

GB/T12022

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

气瓶集束装置充装规定

GB/T34528

气体分析采样导则

GB/T43306

特种设备生产和充装单位许可规则

TSG07

气瓶安全技术规程

TSG23

移动式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

六氟化硫的技术要求应符合表的规定

1。

1