1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/CAS 304-2018

T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

T/CAS 304-2018 Magnetron sputtering silicon target and bonding target material

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CAS 304-2018
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L19 磁性元器件
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2018-05-29
实施日期
2018-05-29
发布单位/组织
-
归口单位
中国标准化协会
适用范围
范围:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材; 主要技术内容:本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
青岛蓝光晶科新材料有限公司、大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司、河北东同光电科技有限公司、大连理工大学
起草人：
张磊、姜大川、崔娜、李鹏廷、谭毅、顾正、石爽、康明生、朱辉、郄奕、张卫、姚玉杰、陈良杰、李云飞、王登科
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>