T/CEMIA 030-2022 半导体用正胶显影液

ICS31.030

CCSL90

团体标准

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TCEMIA0302022

半导体用正胶显影液

Positivehotoresistdeveloerforsemiconductormanufacture

pp

2022-04-20发布2022-07-20实施

中国电子材料行业协会发布

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TCEMIA0302022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

:。

本文件主要起草单位杭州格林达电子材料股份有限公司

:()、、

本文件参与起草单位北方集成电路技术创新中心北京有限公司无锡三开高纯化工有限公司

、()。

沧州信联化工有限公司晶瑞湖北微电子材料有限公司

:、、、、、、、、、、、

本文件主要起草人邢攸美李潇逸张之钧赵健胡涛李盈盈陈东良顾峻徐文干孙炜刘新雨

、、、、、、、、、、、、、

王琪周利超李林佳余红刚倪芸岚陈海刚杨小平章帅迪刘永南姚艺融刘为波翁雪平傅华

高小云。

Ⅰ

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TCEMIA0302022

半导体用正胶显影液

1范围

、、、、、、

本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记要求检验方法检验规则以及标志包装运输

贮存和安全。

,。

本文件适用于半导体用正胶显影液其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵

四甲基氢氧化铵的基本信息见附录中的。

AA.1

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

GB190危险货物包装标志

/化学试剂标准滴定溶液的制备

GBT601

/化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GBT602

/化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GBT603

/液体化学产品颜色测定法(单位———铂钴色号)

GBT3143Hazen-

/液体化工产品采样通则

GBT6680

/数值修约规则与极限数值的表示和判定

GBT8170

/、

GBT8979纯氮高纯氮和超纯氮

/电子级水

GBT11446.1

GB15258化学品安全标签编写规定

GB15603常用化学危险品贮存通则

/化学试剂离子色谱法测定通则

GBT34672

/—薄膜晶体管液晶显示器()用四甲基氢氧化铵显影液

GBT374032019TFT-LCD

—洁净厂房设计规范

GB500732013

/电子工业用显影液中甲醇的测定顶空气相色谱法

SJT11634

/电子工业用显影液中碳酸根离子的测定自动电位滴定法

SJT11635

/电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定自动电位滴定法

SJT11636

/电子化学品中颗粒的测试方法

SJT11638

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4缩略语

下列缩略语适用于本文件。

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