GB/T 48164.1-2026 半导体器件 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFET)可靠性试验方法 第1部分:偏置温度不稳定性试验方法

GB/T 48164.1-2026 Semiconductor devices—Reliability test method for silicon carbide metal-oxide semiconductor field effect transistors(SiC MOSFET)—Part 1:Test method for bias temperature instability

国家标准 中文简体 即将实施 页数:16页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 48164.1-2026
标准类型
国家标准
标准状态
即将实施
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2026-08-28
实施日期
2027-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC 78)
适用范围
本文件描述了在高温下施加连续栅极-源极正电压应力后,在室温下评估SiC MOSFET的阈值电压漂移的试验方法。该试验方法允许应力和测量之间设置较长的延迟时间(最长可达10 h),以此接受一定程度的阈值电压恢复现象。

研制信息

起草单位:
工业和信息化部电子第五研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、株洲中车时代半导体股份有限公司、东南大学、北京国联万众半导体科技有限公司、清纯半导体(宁波)有限公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、龙腾半导体股份有限公司、浙江大学、河北博威集成电路有限公司、河北北芯半导体科技有限公司、电子科技大学、广东天域半导体股份有限公司、TCL环鑫半导体(天津)有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟、中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院、南京南瑞半导体有限公司、深圳市威兆半导体股份有限公司、江苏应能微电子股份有限公司、江苏长晶科技股份有限公司、上海贝岭股份有限公司
起草人:
陈媛、陈兴欢、陈义强、何亮、施宜军、来萍、彭超、张国斌、罗海辉、路国光、赵鹏、孙伟峰、魏家行、谭永亮、吴帆正树、夏焕春、曹琳、陈敏、姚尧、苏日丽、张园览、何健锋、王舶男、张家祺、闫志峰、席善斌、王珩宇、郭清、刘宇、黄洪钟、丁雄杰、杨玉聪、张新玲、高伟、王振、罗望春、骆健、朱郑允、李伟聪、马利奇、孙明光、刘伟伟、杨国江、吴孝严
出版信息:
页数:16页 | 字数:17 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS3108001

CCSL.40.

中华人民共和国国家标准

GB/T481641—2026/IEC63275-12022

.:

半导体器件碳化硅金属氧化物半导体场

效应晶体管SiCMOSFET可靠性试验方法

()

第1部分偏置温度不稳定性试验方法

:

Semiconductordevices—Reliabilitytestmethodforsiliconcarbidemetal-oxide

semiconductorfieldeffecttransistorsSiCMOSFET—

()

Part1Testmethodforbiastemeratureinstabilit

:py

IEC63275-12022Semiconductordevices—Reliabilittestmethodfor

(:,y

siliconcarbidediscretemetal-oxidesemiconductorfieldeffecttransistors—

Part1TestmethodforbiastemeratureinstabilitIDT

:py,)

2026-08-28发布2027-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T481641—2026/IEC63275-12022

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

试验要求

4…………………1

样品

4.1…………………1

试验温度

4.2……………1

试验电压

4.3……………1

试验时间

4.4……………1

测量温度

4.5……………1

失效判据

4.6……………2

试验电路

4.7……………2

试验程序

5…………………2

试验流程

5.1……………2

样品选择

5.2……………3

V测量方法

5.3GS(th)………………………3

如何提供V的可重复测量

5.4GS(th)……………………5

初始值测量

5.5…………………………5

施加电压和温度应力

5.6………………5

去除电压和温度应力

5.7………………5

中间测量

5.8……………5

试验报告

6…………………6

参考文献

………………………

7

Ⅰ

GB/T481641—2026/IEC63275-12022

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是半导体器件碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管可

GB/T48164《(SiCMOSFET)

靠性试验方法的第部分已经发布了以下部分

》1。GB/T48164:

第部分偏置温度不稳定性试验方法

———1:;

第部分体二极管工作引起双极退化的试验方法

———2:。

本文件等同采用半导体器件碳化硅分立金属氧化物半导体场效应晶体管可

IEC63275-1:2022《

靠性试验方法第部分偏置温度不稳定性试验方法

1:》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动

:

为与现有标准协调将标准名称改为半导体器件碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管

———,《

可靠性试验方法第部分偏置温度不稳定性试验方法

(SiCMOSFET)1:》;

删除了术语数据库网址

———ISO、IEC。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出

。

本文件由全国半导体器件标准化技术委员会归口

(SAC/TC78)。

本文件起草单位工业和信息化部电子第五研究所中国电子科技集团公司第五十五研究所株洲

:、、

中车时代半导体股份有限公司东南大学北京国联万众半导体科技有限公司清纯半导体宁波有限

、、、()

公司安徽长飞先进半导体股份有限公司龙腾半导体股份有限公司浙江大学河北博威集成电路有限

、、、、

公司河北北芯半导体科技有限公司电子科技大学

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