GB/T 45130-2025 氧化锌铝靶材

ICS7715060

CCSH.62.

中华人民共和国国家标准

GB/T45130—2025

氧化锌铝靶材

Zinc-aluminumoxidetarget

2025-01-24发布2025-08-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T45130—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国有色金属工业协会提出

。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本文件起草单位先导电子科技股份有限公司深圳市中金岭南有色金属股份有限公司株洲火炬

:、、

安泰新材料有限公司芜湖映日科技股份有限公司成都中建材光电材料有限公司深圳市中金岭南有

、、、

色金属股份有限公司韶关冶炼厂广东欧莱高新材料股份有限公司河北恒博新材料科技股份有限公

、、

司福建阿石创新材料股份有限公司中山智隆新材料科技有限公司上海大学广东先导稀材股份有限

、、、、

公司

。

本文件主要起草人余芳童培云朱赞芳杨平蒋少英曾墩风周毅蔡正明李庆丰陈文麟

:、、、、、、、、、、

葛春桥李喜峰朱刘高敏沂左鸿毅刘慧明王志强李佳宣李鹏骆胜磊陈钦忠李强张建华

、、、、、、、、、、、、、

张科曾平生师世龙王凯凯朱永峰

、、、、。

Ⅰ

GB/T45130—2025

氧化锌铝靶材

1范围

本文件规定了氧化锌铝靶材以下简称靶材的分类技术要求试验方法检验规则标志

(“AZO”)、、、、、

包装运输贮存和随行文件及订货单内容

、、。

本文件适用于由和粉末按照一定比例混合以常压烧结工艺生产的氧化锌铝靶材用

ZnOAl2O3,,

于薄膜太阳能电池镀膜和建筑节能玻璃镀膜

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法

GB/T1551

致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T3850

精细陶瓷弯曲强度试验方法

GB/T6569

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

金属显微组织检验方法

GB/T13298

钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法

SL499

溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YS/T837-

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

表观密度apparentdensity

每单位体积物质的质量

。

32

.

相对密度relativedensity

表观密度与理论密度的比值

。

注靶材质量比mm时靶材理论密度以3计算

:AZO(ZnO)∶(Al2O3)=98∶2,AZO5.57g/cm。

4分类

靶材按形状分为平面靶和管状靶按和的质量比规定为个牌号

AZO;ZnOAl2O31:AZO98。

1

GB/T45130—2025

5技术要求

51化学成分

.

511主要成分

..

靶材的质量比mm的含量允许差为

AZO(ZnO)∶(Al2O3)=98∶2,Al2O3±0.1%。

512杂质成分

..

靶材的杂质成分应符合表的规定

AZO1。

表1AZO靶材杂质成分

杂质成分总和a

FeCuPbCdMnCrNiNaSiCa

杂质含量不大于-4

,(×10)

20102010510102010020200