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YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-1992 The method of measuring the thickness of a silicon epitaxial layer using stacking dislocation size

行业标准-有色金属 简体中文 废止 已被新标准代替，建议下载标准 YS/T 23-2016 | 页数：3页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 23-1992
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1992-03-09
实施日期
1993-01-01
发布单位/组织
中国有色金属工业总公司
归口单位
-
适用范围
-

发布历史

文前页预览

YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法-第1页

研制信息

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起草人：
出版信息：
页数：3页 | 字数：- | 开本： -

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