YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
YS/T 23-1992 The method of measuring the thickness of a silicon epitaxial layer using stacking dislocation size
基本信息
标准号
YS/T 23-1992
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1992-03-09
实施日期
1993-01-01
发布单位/组织
中国有色金属工业总公司
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1992年03月
-
2016年04月
研制信息
- 起草单位：
- 起草人：
- 出版信息：
- 页数：3页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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