T/CIET 1177-2025 微波等离子体化学气相沉积系统性能要求及测试方法
T/CIET 1177-2025 Microwave plasma chemical vapor deposition system performance requirements and testing methods
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CIET 1177-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-04-16
实施日期
2025-04-16
发布单位/组织
-
归口单位
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了微波等离子体化学气相沉积系统的系统构成、一般要求、性能要求和测试方法。
本文件适用于微波等离子体化学气相沉积系统;
主要技术内容:本文件规定了微波等离子体化学气相沉积系统的系统构成、一般要求、性能要求和测试方法。本文件适用于微波等离子体化学气相沉积系统
发布历史
-
2025年04月
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研制信息
- 起草单位：
- 通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、成都沃特塞恩电子技术有限公司、西安交通大学、欣源科技（北京）有限公司、途邦认证有限公司
- 起草人：
- 吴永利、季宇、王宏兴、王少鹏、刘文科、王艳丰、张龙辉、刘岩、汪贤峰、贾国蕊、徐敬铭、包瑾
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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