YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

ICS81.040

Q35YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T门64-2016

硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定

电感藕合等离子体发射光谱法

Testmethodforthecontentofimpuritiesinhighpurityquartzusedforsilicon

material-Inductivelycoupledplasmaatomicemissionspectrometrymethod

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和固有色金属

行业标准

硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定

电感搞合等离子体发射光谱法

YS/T11642016

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YS/T1164-2016

前言

本标准按照GB/T1.1-2009绘出的规则起草。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会＜S八C/TC243）提出并归口．

本标准起草单位：亚洲硅业（青海〉有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛阳中硅高科技有限

公司、新特能源股份有限公司．

＊标准主要起草人：王休庭、魏东亮、蔡延罔、宗冰、季静佳、陈英、张云晖、张同同、邱艳梅。

I

YS/T1164-2016

硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定

电感藕合等离子体发射光谱法

1范围

本标准规定了多品硅用商纯石英制品中铝、钙、仰、铀、铜、钱、磷、碑、铮、镇、fiJl含量的测定方法。

本标准适用于多品硅用高纯石英制品中铝、钙、仰、销、铜、钱、磷、伸、镑、锐、湖含量的测定，测定范

围.!-I!.表1.

表1测定范围

元素质最分数／（pg/g)元素质f量分数／（pg/g)

铝1.00~50.00磷0.10~10.00

钙1.00~50.00碎0.10~10.00

0.10~50.00镑0.10~10.00

t那

幅电1.00~50.000.10~10.00