GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

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GBT329962016ISOTS251382010

表面化学分析辉光放电发射光谱法

分析金属氧化物膜

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ISOTS251382010IDT

2016-10-13发布2017-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT329962016ISOTS251382010

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3原理………………………1

4仪器………………………1

5调节辉光放电谱仪系统设置……………3

6样品处理…………………6

7建立工作曲线……………7

8测试样品的分析…………………………11

9分析结果的表示…………………………12

10精密度…………………13

11实验报告………………13

()…………………

附录规范性附录工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价

A14

()……………

附录资料性附录测定元素的建议谱线

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