GB/T 32996-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

GB/T 32996-2016 Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

国家标准 中文简体 现行 页数:33页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 32996-2016
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2016-10-13
实施日期
2017-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1 nm~10 000 nm的氧化物膜,氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

研制信息

起草单位:
上海市计量测试技术研究院、华东师范大学、中国科学院化学研究所
起草人:
徐建、郝萍、张云艳、刘芬、吴立敏、陈永康、朱丽娜、周莹
出版信息:
页数:33页 | 字数:60 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

/—//:

GBT329962016ISOTS251382010

表面化学分析辉光放电发射光谱法

分析金属氧化物膜

SurfacechemicalanalsisAnalsisofmetaloxidefilmsb

yyy

low-dischareoticalemissionsectrometr

ggppy

(/:,)

ISOTS251382010IDT

2016-10-13发布2017-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—//:

GBT329962016ISOTS251382010

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3原理………………………1

4仪器………………………1

5调节辉光放电谱仪系统设置……………3

6样品处理…………………6

7建立工作曲线……………7

8测试样品的分析…………………………11

9分析结果的表示…………………………12

10精密度…………………13

11实验报告………………13

()…………………

附录规范性附录工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价

A14

()……………

附录资料性附录测定元素的建议谱线

B

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