GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
GB/T 20726-2025 Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS)for use with a scanning electron microscope (SEM)or an electron probe microanalyser(EPMA)
基本信息
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]规范,不在本文件范围之内。
发布历史
-
2006年12月
-
2015年10月
-
2025年08月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院地质与地球物理研究所、核工业北京地质研究院、中国科学院化学研究所
- 起草人：
- 毛骞、范光、王岩华、曾荣树、原江燕
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：23 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS7104099
CCSN.33.
中华人民共和国国家标准
GB/T20726—2025/ISO156322021
:
代替GB/T20726—2015
微束分析扫描电子显微镜SEM或
()
电子探针显微分析仪EPMA用X射线
()
能谱仪EDS主要性能参数及核查方法
()
Microbeamanalysis—Selectedinstrumentalperformanceparameters
forthespecificationandcheckingofenergy-dispersiveX-ray
sectrometersEDSforusewithascanninelectronmicroscoe
p()gp
SEMoranelectronrobemicroanalserEPMA
()py()
ISO156232021IDT
(:,)
2025-08-29发布2026-03-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T20726—2025/ISO156322021
:
目次
前言
…………………………Ⅲ
引言
…………………………Ⅳ
范围
1………………………1
规范性引用文件
2…………………………1
术语和定义
3………………1
要求
4………………………3
通则
4.1…………………3
能量分辨率
4.2…………………………3
死时间
4.3………………4
峰背比
4.4………………4
仪器检测效率的能量相关性
4.5………………………4
其他性能参数核查
5………………………4
概述
5.1…………………4
能量标尺和分辨率的稳定性
5.2………………………4
堆积效应
5.3……………4
能谱仪性能的定期核查
5.4……………5
附录规范性能谱仪能量分辨率的线宽峰半高宽测定
A()()…………6
试样
A.1…………………6
试样制备
A.2……………6
准备工作
A.3……………6
测量条件
A.4……………6
背底扣除
A.5……………6
峰半高宽的计算
A.6(FWHM)
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