GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法

ICS7104099

CCSN.33.

中华人民共和国国家标准

GB/T20726—2025/ISO156322021

:

代替GB/T20726—2015

微束分析扫描电子显微镜SEM或

()

电子探针显微分析仪EPMA用X射线

()

能谱仪EDS主要性能参数及核查方法

()

Microbeamanalysis—Selectedinstrumentalperformanceparameters

forthespecificationandcheckingofenergy-dispersiveX-ray

sectrometersEDSforusewithascanninelectronmicroscoe

p()gp

SEMoranelectronrobemicroanalserEPMA

()py()

ISO156232021IDT

(:,)

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T20726—2025/ISO156322021

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

要求

4………………………3

通则

4.1…………………3

能量分辨率

4.2…………………………3

死时间

4.3………………4

峰背比

4.4………………4

仪器检测效率的能量相关性

4.5………………………4

其他性能参数核查

5………………………4

概述

5.1…………………4

能量标尺和分辨率的稳定性

5.2………………………4

堆积效应

5.3……………4

能谱仪性能的定期核查

5.4……………5

附录规范性能谱仪能量分辨率的线宽峰半高宽测定

A()()…………6

试样

A.1…………………6

试样制备

A.2……………6

准备工作

A.3……………6

测量条件

A.4……………6

背底扣除

A.5……………6

峰半高宽的计算

A.6(FWHM)