GB/T 41805-2022 光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法
GB/T 41805-2022 Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging
国家标准
中文简体
现行
页数：15页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2022-10-12
实施日期
2023-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC 103)
适用范围
本文件描述了采用显微散射暗场成像法对光学元件表面疵病进行定量检测的检测原理、试验条件、仪器设备、样品、检测步骤、试验数据处理和检测报告。本文件适用于平板类双面抛光光学元件表面疵病的长度、宽度、挡光面积以及疵病位置检测。
发布历史
-
2022年10月
研制信息
- 起草单位：
- 浙江大学、杭州晶耐科光电技术有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国兵器工业标准化研究所、江苏皇冠新材料科技有限公司、福建福特科光电股份有限公司
- 起草人：
- 杨甬英、曹频、李刚、杨李茗、刘旭、刘世杰、胡丽丽、徐晓飞、李炜娜、麦启波、黄木旺
- 出版信息：
- 页数：15页 | 字数：32 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS81.040.01
CCSN05
中华人民共和国国家标准
/—
GBT418052022
光学元件表面疵病定量检测方法
显微散射暗场成像法
Methodolofortheuantitativeinsectionofthedefectonotics
gyqpp
—
surfaceMicroscoicscatterindark-fieldimain
pggg
2022-10-12发布2023-05-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT418052022
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规
GBT1.120201
定起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由中国机械工业联合会提出。
(/)。
本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会SACTC103归口
:、、、
本文件起草单位浙江大学杭州晶耐科光电技术有限公司中国科学院大连化学物理研究所中国
、、
工程物理研究院激光聚变研究中心中国科学院上海光学精密机械研究所中国兵器工业标准化研究
、
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