SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
SJ/T 31080-2016 Optical mask making requirements and inspection and evaluation methods for the integrity of the pattern generator
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：6页
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 31080-2016
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2016-01-15
实施日期
2016-06-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
中国电子技术标准化研究院
适用范围
-
发布历史
-
2016年01月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 起草人：
- 张倩、石少青、辛士卓 等
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
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