T/CASME 2140-2026 半导体热波晶圆量测设备性能测试方法
T/CASME 2140-2026 Test method for performance of semiconductor thermo-wave wafer measurement equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 2140-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-01-30
实施日期
2026-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
-
发布历史
-
2026年01月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 上海微崇半导体设备有限公司、北京科技职业大学、北京六只猫创意科技有限公司、北京工业大学、北京中泽华控科技有限公司
- 起草人：
- 周朴希、席仲雨、焦雪岩、杨笛、乐志斌、夏卫彬、闫子轻
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB 7803-1987 职业性镉中毒诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB/T 7752-1987 绝缘胶粘带工频击穿强度试验方法 1987-05-25
- GB 7804-1987 职业性皮肤病诊断标准及处理原则(总则) 1987-05-25
- GB 7807-1987 职业性光敏性皮炎诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7802-1987 职业性急性甲苯中毒诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7808-1987 职业性黑变病诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7805-1987 职业性电光性皮炎诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7801-1987 职业性急性氮氧化物中毒诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7800-1987 职业性急性氨中毒诊断标准及处理原则 1987-05-25
- GB 7806-1987 职业性接触性皮炎诊断标准及处理原则 1987-05-25