GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-1999 Vacuum coating plant generic specification
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1999-04-08
实施日期
1999-09-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1999年04月
-
2011年11月
研制信息
- 起草单位：
- 上海曙光机械制造厂、沈阳真空技术研究所
- 起草人：
- 张树中、李春影、李玉英
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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