GB/T 42543-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定
GB/T 42543-2023 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of cantilever normal spring constants
国家标准
中文简体
现行
页数：25页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 42543-2023
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2023-05-23
实施日期
2023-09-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
本文件描述了五种原子力显微术探针悬臂梁法向弹性常数的测量方法，测量的精度误差为5%~10%。每个方法分别隶属于尺寸法、静态实验法和动态实验法三类方法中的一种。方法的选择取决于分析所要达到的目的，便易性及现有的仪器条件。
本文件不适用于高于5%～10%的测量精度，如要获得高于5%~10%的测量精度，需要使用本文件未提及的更高精度的方法进行测量。
本文件不适用于高于5%～10%的测量精度，如要获得高于5%~10%的测量精度，需要使用本文件未提及的更高精度的方法进行测量。
发布历史
-
2023年05月
研制信息
- 起草单位：
- 上海交通大学、中国科学院上海应用物理研究所、上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
- 起草人：
- 孙洁林、沈轶、胡钧、李源、蔡潇雨、何丹农
- 出版信息：
- 页数：25页 | 字数：46 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT425432023ISO117752015
表面化学分析扫描探针显微术
悬臂梁法向弹性常数的测定
——
SurfacechemicalanalsisScanninrobemicroscoDeterminationof
ygppy
cantilevernormalsrinconstants
pg
(:,)
ISO117752015IDT
2023-05-23发布2023-09-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/:
GBT425432023ISO117752015
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅳ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4符号和缩略语……………2
5基本信息…………………4
5.1背景信息……………4
5.2AFM法向弹性常数的测定方法……………………4
6尺寸分析法测定k………………………4
z
6.1概述…………………4
6.2利用三维几何信息使用公式计算k………………5
z
6.3使用平面尺寸和共振频率计算无探针针尖矩形悬臂梁的k……8
z
7静态实验法来测定k……………………9
z
7.1概述…………………9
7.2使用参考悬臂梁的静态实验法……………………9
7.3使用纳米压痕仪的静态实验法……………………12
7.4测量方法……………14
8动态实验法测定k……………………15
z
8.1概述…………………15
8.2使用AFM热振动的动态实验法…………………15
()………
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