GB/T 42543-2023 表面化学分析扫描探针显微术悬臂梁法向弹性常数的测定

GB/T 42543-2023 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of cantilever normal spring constants

国家标准中文简体现行页数：25页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 42543-2023

发布历史

2023年05月

GB/T 42543-2023　表面化学分析扫描探针显微术悬臂梁法向弹性常数的测定

当前标准现行 2023-05-23

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研制信息

起草单位：: 上海交通大学、中国科学院上海应用物理研究所、上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人：: 孙洁林、沈轶、胡钧、李源、蔡潇雨、何丹农

出版信息：: 页数：25页 | 字数：46 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT425432023ISO117752015

表面化学分析扫描探针显微术

悬臂梁法向弹性常数的测定

——

SurfacechemicalanalsisScanninrobemicroscoDeterminationof

ygppy

cantilevernormalsrinconstants

(:,)

ISO117752015IDT

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT425432023ISO117752015

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………2

5基本信息…………………4

5.1背景信息……………4

5.2AFM法向弹性常数的测定方法……………………4

6尺寸分析法测定k………………………4

6.1概述…………………4

6.2利用三维几何信息使用公式计算k………………5

6.3使用平面尺寸和共振频率计算无探针针尖矩形悬臂梁的k……8

7静态实验法来测定k……………………9

7.1概述…………………9

7.2使用参考悬臂梁的静态实验法……………………9

7.3使用纳米压痕仪的静态实验法……………………12

7.4测量方法……………14

8动态实验法测定k……………………15

8.1概述…………………15

8.2使用AFM热振动的动态实验法…………………15

()………

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