GB/T 46191-2025 电子级五（二甲氨基）钽
GB/T 46191-2025 Electronic grade pentakis(dimethylamide) tantalum
基本信息
本文件适用于沉积氮化钽、氧化钽和钽掺杂物等钽基薄膜的电子级五(二甲氨基)钽。
发布历史
-
2025年10月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、苏州源展材料科技有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、全椒南大光电材料有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博)有限公司、安徽博泰电子材料有限公司
- 起草人：
- 陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、杨敏、史泽远、孙明璐、陈鹏宇、孙鹏、张婷、赵俊莎、吴怡然、张健、罗文娇、李雪、高加新、郭威、王伟、魏良杰、毛国玉、张学奇、何晓晨、张宝帅、刘立伟、王小亮、孙丽丽、曹益宁、童祎、陆平、王博文、彭元兵、娄夏冰、刘能巧、孟庆典、孙建、高朋、张鹏、顾洋洋
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：23 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS31030
CCSL.90
中华人民共和国国家标准
GB/T46191—2025
电子级五二甲氨基钽
()
Electronicradeentakisdimethlamidetantalum
gp(y)
2025-10-05发布2026-05-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T46191—2025
前言
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
。。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本文件起草单位南大光电半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院苏州实验室江苏南
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大光电材料股份有限公司苏州源展材料科技有限公司长江存储科技有限责任公司中芯国际集成电
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路制造北京有限公司全椒南大光电材料有限公司安徽亚格盛电子新材料股份有限公司宁波南大
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光电材料有限公司合肥安德科铭半导体科技有限公司南大光电乌兰察布有限公司南大光电淄博
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有限公司安徽博泰电子材料有限公司
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本文件主要起草人陈德义曹可慰茅炳荣徐文涛杨敏史泽远孙明璐陈鹏宇孙鹏张婷
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赵俊莎吴怡然张健罗文娇李雪高加新郭威王伟魏良杰毛国玉张学奇何晓晨张宝帅刘立伟
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王小亮孙丽丽曹益宁童祎陆平王博文彭元兵娄夏冰刘能巧孟庆典孙建高朋张鹏顾洋洋
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Ⅰ
GB/T46191—2025
电子级五二甲氨基钽
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1范围
本文件规定了半导体行业用电子级五二甲氨基钽的技术要求检验规则包装标志及随货资料
()、、、、
运输贮存及安全信息的要求描述了相应的检测方法
、,。
本文件适用于沉积氮化钽氧化钽和钽掺杂物等钽基薄膜的电子级五二甲氨基钽
、()。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文
。,
件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于
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本文件
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义
。
4技术要求
电子级五二甲氨基钽应符合表的规定
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