T/CMBN 0054-2026 白光干涉仪制造
T/CMBN 0054-2026 White light interferometer manufacturing
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/CMBN 0054-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-03-26
实施日期
2026-04-10
发布单位/组织
-
归口单位
全国商报联合会
适用范围
本文件规定了白光干涉仪制造的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求。
本文件适用于基于白光干涉原理的非接触式表面形貌测量白光干涉仪的设计、制造与验收
发布历史
-
2026年03月
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研制信息
- 起草单位:
- 新启航半导体有限公司、河南省科学院激光制造研究所、佛山大学、海南通赢科技有限公司、佛山宗本光学仪器有限公司
- 起草人:
- 王庭云、江浩庆、曾亚光、刘路通、贺雷
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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