YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
YS/T 1053-2015 High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：11页
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1053-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材(以下简称高纯钴靶)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
- 起草人：
- 王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
- 出版信息：
- 页数：11页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.150.70
H62
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST10532015
电子薄膜用高纯钴靶材
Hih-uritcobaltsutterintaretusedinelectronicfilm
gpypgg
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST10532015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC243
:、。
定制服务
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