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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

YS/T 1053-2015 High-purity cobalt sputtering target used in electronic film

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：11页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1053-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H62 重金属及其合金
国际标准分类号（ICS）
77.150.70 镉和钴产品
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材(以下简称高纯钴靶)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。

发布历史

文前页预览

YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材-第1页
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材-第2页
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材-第3页

研制信息

起草单位：
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
起草人：
王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
出版信息：
页数：11页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.150.70

H62

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST10532015

电子薄膜用高纯钴靶材

Hih-uritcobaltsutterintaretusedinelectronicfilm

gpypgg

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST10532015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC243

:、。

定制服务

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    关联标准

    引用标准
    GB/T 1804
    GB/T 1804-2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
    现行
    GB/T 2828.1
    GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
    现行
    GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
    被代替
    GB/T 6394
    GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
    现行
    GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
    被代替
    GB/T 8651
    GB/T 8651-2015 金属板材超声板波探伤方法
    现行
    GB/T 8651-2002 金属板材超声板波探伤方法
    被代替
    GB/T 14265
    GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    现行
    GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
    被代替
    YS/T 837
    YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
    现行
    YS/T 1011
    YS/T 1011-2014 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
    现行
    YS/T 1011-2025 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
    现行

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