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T/ZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片

T/ZZB 0648-2018 200 mm heavy phosphorus-doped straight pull silicon single crystal polished wafer

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZZB 0648-2018
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H82 元素半导体材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2018-10-19
实施日期
2018-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省质量协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底

发布历史

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研制信息

起草单位：
本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司。 本标准参与起草单位：金瑞泓科技（衢州）有限公司
起草人：
许峰、朱华英、陈平人、田达晰、梁兴勃、刘红方、李方虎、李艳玲
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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