T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
T/ICMTIA PC007-2021 Acidic fluorinated hydrocarbons used in integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA PC007-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2021-05-31
实施日期
2021-07-30
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
发布历史
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 中巨芯科技有限公司
- 起草人：
- 陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/LNPC 016-2024 化妆品原料抗氧化功效评价试验方法 2024-12-23
- T/SHMHZQ 036-2021 微生物型清洁剂通用规范 2021-10-27
- T/CRIAC 0032-2020 超干试剂 1,4-二氧六环 2020-09-10
- T/ZZB 2816-2022 手洗餐具用洗涤剂 2022-12-08
- T/CIESC 78-2024 工业用亚磷酸二氢钾 2024-12-05
- T/CDIA 0049-2022 分散深蓝NP-XSF 300% 2022-09-16
- T/CPCIF 0378-2024 气体分析 微量水分含量的测定 电容法 2024-09-29
- T/YNBX 141-2024 MASPP电力护套管 2024-05-20
- T/ZHCA 028-2023 化妆品原料水解胶原 深冷金枪鱼胶原低聚肽 2023-12-28
- T/CSTM 00706-2022 化学试剂 水杨酸 2022-08-31