T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸
T/ICMTIA PC007-2021 Acidic fluorinated hydrocarbons used in integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA PC007-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2021-05-31
实施日期
2021-07-30
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。分子式：HF相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中巨芯科技有限公司
- 起草人：
- 陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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