SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
SJ/T 11503-2015 The method for testing the surface roughness of a single-crystal silicon carbide polishing slice
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：9页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11503-2015
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
- 起草人：
- 丁丽、何友琴、郑红军 等
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- SY/T 5044-2003 游梁式抽油机 2003-03-18
- JT/T 847-2013 塑料隔离墩 2013-04-07
- JB/T 6357-2006 圆推刀 2006-10-04
- JB/T 10231.15-2002 刀具产品检测方法 第15部分：可转位三面刃铣刀 2002-07-16
- YD/T 1778-2011 TD-SCDMA/GSM(GPRS)双模单待机数字移动通信终端技术要求 2011-05-18
- QB/T 1440-2006 相册、名片册 2006-09-14
- WS 289-2008 霍乱诊断标准 2008-01-16
- MZ/T 025-2011 救助管理机构等级评定 2011-12-03
- SL 1-2002 水利技术标准编写规定 2003-01-15
- JB/T 10614-2006 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 方梁 2006-09-14