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T/CNIA 0101-2021 绿色设计产品评价技术规范 碳化硅单晶抛光片

T/CNIA 0101-2021 Green Design Product Evaluation Specification for Silicon Carbide Monocrystal Polishing Pieces

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CNIA 0101-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2021-03-19
实施日期
2021-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价

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研制信息

起草单位：
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品评价的评价要求、生命周期评价报告编制方法、评价方法和流程。 本文件适用于物理气相传输法生产的4H及6H碳化硅单晶抛光片绿色设计产品的评价
起草人：
彭同华、佘宗静、赵宁、王波、杨建、王大军、刘祎晨、陈鹏、邹宇、张平、马远
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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