GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

GB/T 1554-1995 Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替,建议下载标准 GB/T 1554-2009 | 页数:11页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 1554-1995
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
1995-04-18
实施日期
1995-12-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-

发布历史

研制信息

起草单位:
峨嵋半导体材料厂
起草人:
曹宗瑞、吴道荣、陈永桐、刘文魁、王鸿高
出版信息:
页数:11页 | 字数:20 千字 | 开本: 大16开

内容描述

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