GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T 4058-1995 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1995-04-18
实施日期
1995-12-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1995年04月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料厂
- 起草人：
- 吴道荣、王向东、胡政、刘文魁
- 出版信息：
- 页数：10页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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