T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶

T/ZSA 72-2019 Silicon carbide single crystal

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基本信息

标准号

T/ZSA 72-2019

标准类型

团体标准

标准状态

废止

中国标准分类号（CCS）

H80/84 半金属与半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2019-12-31

实施日期

2020-03-01

发布单位/组织

归口单位

中关村标准化协会

适用范围

范围:本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶; 主要技术内容:碳化硅材料是继第一代半导体材料(以硅为代表)和第二代半导体材料(以砷化镓和磷化铟为代表) 之后，在近十年发展起来的第三代新型半导体材料。其主要应用领域有LED固态照明、电力电子和微波射频器件。该材料具有宽禁带、高漂移速度、高击穿电场、高热导率、抗辐射等优良特性，在高温、高压、高频、高功率等电子应用领域和航天、军工、强辐射场等极端环境应用有着不可替代的优势。碳化硅材料已成为全球半导体产业的前沿和制高点，随着碳化硅产业的发展，产业链分工细化是必然的趋势，会大量出现只专门加工碳化硅晶片的厂家，碳化硅单晶会单独交易，因此有必要单独制定碳化硅单晶标准

发布历史

2019年12月

T/ZSA 72-2019　碳化硅单晶

当前标准废止 2019-12-31

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研制信息

起草单位：: 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司

起草人：: 陆敏、彭同华、郑红军、陈鹏、刘祎晨、王文军、林健、闫果果、刘春俊、何丽娟、钮应喜、彭燕

出版信息：: 页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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