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T/CNIA 0103-2021 绿色设计产品评价技术规范 电子级氯硅烷

T/CNIA 0103-2021 Green Design Product Evaluation Technical Specification for Electronic Grade Chlorosilane

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CNIA 0103-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2021-03-19
实施日期
2021-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子级氯硅烷绿色设计产品评价的评价要求、产品生命周期评价报告编制方法以及评价方法和流程。本文件适用于以工业氯硅烷产品为原料，精制提纯而生产的电子级氯硅烷（包含电子级的三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷）绿色设计产品的评价

发布历史

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研制信息

起草单位：
洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、南京国盛电子有限公司、多晶硅材料制备国家工程实验室、青海芯测科技有限公司
起草人：
万烨、赵雄、严大洲、张园园、郭树虎、刘见华、赵宇、常欣、秦榕、骆红、王芳、秦琴、申梅桂、任传宗、袁振军、张冠峰
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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