适用范围：本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。 本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围为1 μm～100 μm。

适用范围：本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。

适用范围：本标准规定了电网在役支柱瓷绝缘子及瓷套超声波检测方法和检测结果的评定。 本标准适用于发电厂、变电站(所)、换流站、串补站户内和户外外径不小于Φ80mm 高压支柱瓷绝缘子及外径不小于Φ 150mm 的断路器、电流互感器、电压互感器（含电容式电压互感器）、避雷器等设备瓷质外套的超声波检测。 本标准也适用于发供电行业设备安装和检修时的检测

适用范围：YS/T 981的本部分规定了高纯铟中锡含量的测定方法。 本部分适用于99.999 9%高纯铟中锡含量的测定。测定范围为5×10-5%~2×10-4%。

适用范围：本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。 本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。

适用范围：YS/T 981的本部分规定了高纯铟中硅含量的测定方法。 本部分适用于99.999 9%高纯铟中硅含量的测定。测定范围为5×10-5%~2×10-4%。