YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

ICS77.040.30

H17

中华人民共和国有色金属行业标准

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YST10602015

硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的

测定气相色谱法

ㅤㅤㅤㅤ

Determinationofotherchlorosilaneintrichlorosilaneforsiliconeitax—

qy

Gaschromatorahicmethod

gp

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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YST10602015

硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的

测定气相色谱法

1范围

(、)

本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷包括二氯二氢硅四氯化硅含量的气相色谱测定

方法。

(、)。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷包括二氯二氢硅四氯化硅含量的测定测定下

限为0.002%。

2方法提要

(),,

三氯氢硅样品在惰性气体氮气或氩气保护下注入气相色谱仪各组分经色谱柱分离后用热导池

,。

检测器检测用峰面积归一化法计算

3试剂

,。

3.1载气氢气体积分数≥99.999%

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,。

3.2惰性气体体积分数≥99.999%

4仪器

:(),。

4.1气相色谱仪配有热导池检测器TCD和相应的色谱工作站检测限为0.001%

:,,,。

4.2色谱柱不锈钢填充柱固定液为25%DC-550规格为ϕ3mm×2.5m或其他等效色谱柱

微量注射器:。

4.310L

μ

5干扰因素

,。

5.1样品宜置于冰箱中冷冻保存防止样品挥发损失

室内湿度应控制在,。

5.240%以下防止环境湿度对样品的影响

();,

5.3惰性气体操作箱内的空气应用干燥高纯惰性气体如氮气置换干净否则样品水解影响测试

结果。

6分析步骤

:,。,

警告移取三氯氢硅样品时要防止样品泄露建议在惰性气体保护下转移样品并佩戴好防护

用品。

6.1准备

,,。

按照仪器操作规程开启气相色谱仪并设定仪器工作参数待基线平稳后开始进样分析

1

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YST10602015

6.2测定